设备名称

显影机

用途

可用于去胶、显影等黄光区操作

操作方式

手动/半自动/自动

适用领域

半导体、LED芯片、MEMS等

适用工艺

匀胶、显影、去胶

显影方式

槽式

适用尺寸

2吋--12吋晶圆

药液供给

手动或自动供给

主体材质

不锈钢、PP、PVC

槽体材质

不锈钢、PP、PVDF

温控精度

±1℃

安全防护

自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统

模块化设计

满足客户多种工艺及产能的定制化要求

可编程菜单，方便用户操作，直观

实时流程显示，可控性强

多级密码，方便管理，安全可靠

自动保存生产数据

可实现远程控制

可实现功能

药液管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、机械抛动、恒温系统、自动灭火等